声表面波传感器能将信号集中于基片表面、工作频率高,具有极高的信息敏感精度,能迅速地将检测到的信息转换为电信号输出,具有实时信息检测的特性;另外,声表面波传感器还具有微型化、集成化、无源、低成本、低功耗、直接频率信号输出等优点。国内目前已经形成了包括声表面波压力传感器、声表面波温度传感器、声表面波生物基因传感器、声表面波化学气相传感器以及智能传感器等多种类型。声表面波是一种在固体浅表面进行传播的弹性波,具有多种模式,瑞利波是目前应用的一种声表面波。不同类型的声表面波具有不同的特性,利用其制成的传感器可适用于不同场合探测。滤波器的功能是通过电容、电感、电阻等电学元件组合来将特定频率外的信号滤除,保留特定频段内的信号。肇庆声表面谐振器r315
声表面波器件一般使用压电晶体 (例如石英晶体等 )作为媒介,然后通过外加一正电压产生声波,并通过衬底进行传播,然后转换成电信号输出。声表面波传感器中起主导作用的主要是压电效应,其设计时需要考虑多种因素:如相对尺寸、敏感性 、效率等。 一般地,无线无源声表面波传感器的信号频率范围从40MHz 到几个GHz。 图2 所示为声表面波传感器常见的结构,主要部分包括压电衬底、天线、敏感薄膜 、IDT等 。 传感器的敏感层通过改变声表面波的速度来实现频率的变化。珠海品质声表面谐振器生产企业声表面波的传输速度比电磁波慢数个量级。
声表面波技术是六十年代末期才发展起来的一门新兴科学技术领域,它是声学和电子学相结合的一门边缘学科。SAW,SurfaceAcousticWave,声表面波,简称声表,用这个技术做的滤波器称之为声表滤波器,即SAWF(SAWFilter)声表面波技术的发展相当迅猛,其应用领域从刚开始的雷达发展到现在几乎遍及整个无线电通讯,特别是移动通讯技术的高速发展,更进一步地推动了声表面波技术的发展。声表面波滤波器(SAWF)是利用压电陶瓷、钛酸钡晶体、铌酸锂、石英等,具有压电效应的材料制成,是利用压电晶体振荡器材料的压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种换能式无源带通滤波器。当晶体受到机械作用时,产生与压力成正比的电场现象。具有压电效应的晶体,在受到电信号的作用时,也会产生弹性形变而发出机械声波,就可以把电信号转换成声信号。这种声波只在晶体表面传播,因此称之为声表面波。
目前,射频滤波器是射频前端领域中占比比较高的产品。伴随频段数的增多,滤波器价值在3G终端中占比33%提升到全网通LTE终端的57%。而到5G时代,滤波器应用量将进一步提升,并已经超越PA成为整个射频前端模块市场中重要的组成部分。射频滤波器可分为SAW和BAW滤波器两种。SAW滤波器是一种沿着固体表面传播声波,它是由压电材料和叉指换能器(Interdigitaltransducer,IDT)组成。IDT作为SAW滤波器的重要功能区,其主要作用在于能量转换,即在输入端将电信号转换成声波信号,在输出端将接收的声波信号转变成电信号输出。两种信号之间的转换依赖压电材料,其特性是受到外界压力时会发生变形,使晶体内部原子间的距离发生变化,打破了原来正负电荷平衡,使晶体表面产生电压。当晶体两端受到电压时,晶体也会产生形变。SAW滤波器常用压电材料有钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNaO3)、石英(SiO2)等。近年来国外已将声表面谐振器片式化,重量只有0.2g。
由于电力设备是工作在高电压、强负荷且长期不停电状态下,对于测温装置的要求自然更高。运行中高压电力设备周围分布有强电场,其温度检测传感器必须具备无源或者自取能功能,才能保证电力设备的安全性。另外,电力设备间要求保持特定安全距离,故检测装置体积应尽可能小。对于各种型号的电力设备均适应安装,以及设备维护周期应尽量长,以保障电力设备长期不断电运行。研究人员研究了射频能量收集技术在监控电力系统温度变化的可能性,同时还开发了一种基于射频能源动力的声表面波温度传感器。该系统主要由一个双通道的阅读器和许多传感器节点组成,传感器的节点通过从阅读器输送的能量中获得能量,而传输的射频能量作为打开传感器从而避免数据相冲的唤醒信息。根据作者的分析,射频能量收集技术是一种非常适用于电力设备的声表面波传感器技术。现已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器,其插入损耗只有1.2dB。哪些是声表面谐振器行价
。SAW被开发为各种传感器。SAW传感器是利用SAW器件作为传感载体。肇庆声表面谐振器r315
声表面波是沿物体表面传播的一种弹性波。早在九十多年前,人们就对这种波进行了研究。1885年,瑞利根据对地震波的研究,从理论上阐明了在各向同性固体表面上弹性波的特性。但由于当时的科学技术水平所限,这种弹性表面波一直没有得到实际上的应用。直到六十年代,由于半导体平面工艺以及激光技术的发展,出现了大量人造压电材料为声表面波技术的发展提供了必要的物质和技术基础。特别应该指出的是,1965年,怀特(R.M.white)和沃尔特默(F.W.voltmer)在应用物理杂志上发表了题为“一种新型表面波声-电换能器―叉指换能器”的论文,从而取得了声表面波技术的关键性突破。肇庆声表面谐振器r315
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